——半导体级防静电缓冲材料专家——
颠覆性创新:高缓冲HSW型防静电材料
》〉为28nm以下先进制程保驾护航
型号:HSW-PEAS系列(1/3/5/6/10mm厚度可选)
▍ 为什么全球TOP 10半导体厂商选择HSW?
► 纳米级防静电技术突破
采用“透明石墨烯导电层”专利设计(专利号CN2023XXXXXX),在独立发泡泡沫与防静电薄膜间构建钠米级导电网络,表面电阻稳定控制在106~1010Ω,远超SEMI ESDSTM11.11标准要求。
静电衰减时间<0.05秒(第三方检测报告可提供),彻底解决晶圆传输中的静电吸附风险。
► 超越ISO Class5的洁净表现
激光切割封边工艺实现发泡层“零裸露”,颗粒释放量<5颗/m³(0.3μm以上,实测数据)。
通过VOC气相色谱测试,总有机物排放<1μg/g,满足EUV光刻机环境严苛要求。
► 智能缓冲性能
动态冲击吸收率≥90%(ASTM D1596测试),针对300mm晶圆盒跌落工况专项优化。
独家“记忆回弹”配方,40℃~120℃环境下压缩永久变形率<3%。
▍ 为半导体行业定制的解决方案
|应用场景 | PEAS的不可替代性
|晶圆厂内物流 | 兼容AMHS轨道车振动环境,无颗粒脱落 |
| FOUP/POD衬垫 | 通过SEMI F470708晶圆盒兼容性认证 |
|设备运输缓冲 | 欧盟IEC 6134051 + 中国GB/T 32367双认证 |
▍ 技术标杆:我们比同行强在哪里?
✅ 唯一采用日本三菱化学医用级聚烯烃原料(非回收料)
✅ 国内首家实现防静电层发泡层防静电层“三明治”共挤成型(对比传统胶粘工艺,洁净度提升10倍)
✅ 支持电阻值定制(10⁶~10¹²Ω),适配芯片测试/封装全流程
▍ 客户见证
“恒升PEAS材料已连续3年用于三芯存储 NAND闪产线,累计供货超20万㎡,PPM不良率<0.5”
——某国际半导体设备商2024年供应商评估报告
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恒升防静电——让中国芯的每一程运输都安全可控